（1）氩气气源由反应炉排出，进入低压缓冲罐，经远程放气信号和低压缓冲罐的压力
信号联控氩气回收系统中的螺杆式压缩机、活塞式压缩机。
经水冷器冷却降温，冷却后气体温度≤冷却水进水
（2）氩气经管道和过滤器后，进入变频螺杆式压缩机进行1级压缩至8bar及以上，氩气 温度+10℃，储存于中压缓冲罐中，氩 气油污含量≤0.1ppm。中压缓冲罐在运行过程或停机状态下，当压力高、压力低时配有 手动和自动排气、补气口，并与氩气回收系统气体管道及罐体形成闭环。
（3）8bar以上氩气经过滤器进入活塞式压缩机进行2级压缩至60-80bar，排汽水分离器 油气分离和曲轴箱超压放散的氩气经过滤后（氩气油污含量≤0.1ppm）回收至螺杆式压 缩机的进气管道、低压罐中，再由螺杆式压缩机和活塞式增压机进行二次压缩后回收利
用。
（4）高压高温氩气通过后水冷冷却器冷却降温后，通过三级精密除油过滤器去除气 体中的液态润滑油，再经单向阀后进入活性炭吸附塔中去除气态油分子，最后进入吸附
式干燥桶除去气体中的气态水份，确保高压罐中的氩气达到露点温度≤-50℃，含油量≤0.01ppm。
（5）滤撬中的三级精密除油过滤器、粉尘过滤器自动和手动排污，将含气体的油污排放至增压机的油污回收罐中，再经过滤 后排放至低压管道中。
（6）纯净的高压氩气最终储存在高压储气罐，经过后置除尘过滤器，通过管道将高压纯净的氩气输送至反应炉，达到钛 题 合金、高温合金制粉工艺要求。
（7）在整体系统运行过程中，为满足氩气间歇性回收工况和避免氩气压缩机频繁启动问 ，螺杆式压缩机和活塞式压缩机均 采用变频控制，空载和回流控制方式调节流量，PLC控制系统根据制粉段气体工况使用要求分别控制2台螺杆式压缩机和3台活 塞式压缩机进行变频流量调节，进行回流和空载控制，保证螺杆式压缩机和活塞式压缩机连续运行，满足氩气间歇性回收，避 免频繁启动和系统被抽真空情况。
（8）回流阀组：高压罐经减压后到达低压罐，气体流量满足螺杆式压缩机和活塞式压缩机低频运行，回流阀组打开、关闭根据 炉子工艺信号自动控制。
（9）进气缓冲罐和排气高压罐均配置氧分仪监控，低压缓冲罐和排气高压罐配置氧分仪监控；生产尾气氧含量超标，低压罐 自动放气，高压罐进行自动补气。
（10）整个回收系统后氧含量≤5ppm；整体系统回收率为＞95%以上。
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